本機簡介:

內尺寸:W600*D500*H600/ W600*D500*H900mm

外尺寸:W1060*D1240*H1550/ W1060*D1240*H1850mm

溫度范圍:50-200℃ 30MIN

均勻性:±1.5%(空 載測試)

內箱材質:SUS304#鏡面不銹鋼

外箱材質:SST41#鋼板經防銹處理后高溫粉體烤漆

電熱:(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器

配備:HEPAFilter. 壓差計、流量計

潔凈度:Class100#, FED-STD-209E潔爭等級標準

進氣量:N2或Clean Air MAX: 25 l/min

應用:LCD、CMOS、IC制程烘烤

保護裝置:超溫防止器、馬達過電流保護、控制線路保險絲.無熔絲開關、所有電氣配件皆采用符合國家標準之正廠一級產品。