本機簡介:

內尺寸:W1210*D810*H1010mm

外尺寸:W2003*D1028*H1890MM3

溫度范圍:50-200℃ 30MIN

均勻性:±1.5%(空載測試)

內箱材質:SUS304#鏡面不銹鋼

外箱材質:SST41#鋼板經防銹處理后高溫粉體烤漆

電熱:(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器

配備:HEPAFilter、壓差計、流量計

潔凈度:Class100#, FED-STD-209E潔凈等級標準

進氣量:N2或Clean Air MAX: 25 /min

應用:LCD、CMOS、IC制程烘烤

保護裝置:超溫防止器、馬達過電流保護、控制線路保險絲、無熔絲開關、所有電氣配件皆采用符合國家標準之正廠一級產品。